พื้นผิวทำความสะอาดตัวเองคือพื้นผิวที่สามรถทำความสะอาดตัวเองได้เนื่องจากการเกาะตัวของของเหลวที่เกือบจะเป็นก้อนกลม เมื่ออนุภาคของเหลวหรือน้ำหยดลงมาบนพื้นผิวก็จะไหลออกไปไม่เกาะติด และกวาดเอาอนุภาคฝุ่นและคราบสกปรกบนพื้นผิวอออกไปด้วย โดยอาศัยหลักการ ความไม่ชอบน้ำแบบยิ่งยวด(Superhydrophobic surface) ซึ่งฟังก์ชันการทำความสะอาดตัวเองของพื้นผิวได้รับแรงบันดาลใจปรากฏการณ์ทางธรรมชาติ เช่น การทำความสะอาดตัวเองของใบบัว (Lotus Effect) โดยพื้นผิวของใบบัวที่เกิดปรากฏการณ์ไม่ชอบน้ำแบบยิ่งยวดเพราะ โครงสร้างทางกายภาพ (Physical structure) ของใบบัว มีลักษณะที่ขรุขระเป็นปุ่มหรือแท่งเล็กๆในระดับนาโนเมตร (Nanometer) การมีปุ่มหรือแท่งเล็กๆจำนวนมากจะเกิดอากาศที่บริเวณช่องว่างระหว่างปุ่ม ทำให้หยดน้ำเกิดการฟอร์มตัวที่มีลักษณะใกล้เคียงกับทรงกลมเกิดการไม่เกาะติดบนพื้นผิวทำให้มารถกลิ้งไปมาได้